SrTiO3 Substrat
Tanım
SrTiO3 tek kristali, perovskit yapı malzemesinin iyi kafes yapısına sahiptir.HTS ve çoğu oksit filmin epitaksi büyümesi için mükemmel bir substrat malzemesidir.Yüksek sıcaklıkta süper iletken ince filmlerin araştırılmasında yaygın olarak kullanılmaktadır.Ayrıca özel optik pencerelerde ve yüksek kaliteli püskürtme hedeflerinde de yaygın olarak kullanılır.
Özellikler
Yön: (100) +/-0,5 Derece
Kenar Yönlendirme Göstergesi: <001> +/-2 Derece, ekstra maliyetle seçenek olarak mevcuttur
Cila: Daha az alt yüzey kafes hasarı ile CMP teknolojisi ile cilalanmış bir tarafı EPI.
Paket: 1000 sınıfı temiz oda altında 100 sınıfı plastik torbada paketlenmiştir.
| Kristal yapı | Kübik, a=3,905 A |
| Büyüme Yöntemi | Vernuil |
| Yoğunluk (g/cm)3） | 5.175 |
| Erime Noktası (°C) | 2080 |
| Sertlik (Mho) | 6 |
| Termal Genleşme | 10,4 (x10-6/ °C) |
| Dielektrik sabiti | ~ 300 |
| 10 GHz'de Kayıp Tanjantı | ~5x10-4@ 300K, ~3x10-4@77K |
| Renk ve Görünüm | Şeffaf (tavlama durumuna bağlı olarak bazen hafif kahverengi).İkiz yok |
| Kimyasal stabilite | Suda çözünmez |
SrTiO3 Substrat Tanımı
SrTiO3 substratı, stronsiyum titanat (SrTiO3) bileşiğinden yapılmış kristalli bir substratı ifade eder.SrTiO3, yüksek dielektrik sabiti, yüksek termal stabilite ve diğer birçok malzemeyle iyi kafes uyumu ile karakterize edilen, kübik kristal yapıya sahip bir perovskit malzemedir.
SrTiO3 substratları ince film biriktirme ve epitaksiyel büyüme alanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.SrTiO3'ün kübik yapısı, mükemmel kristal kalitesi ve düşük kusur yoğunluğu ile yüksek kaliteli ince filmlerin büyütülmesine olanak tanır.Bu, SrTiO3 substratlarını çeşitli uygulamalar için epitaksiyel filmlerin ve heteroyapıların büyütülmesi için çok uygun hale getirir.
SrTiO3'ün yüksek dielektrik sabiti onu kapasitörler, hafıza cihazları ve ferroelektrik ince filmler gibi uygulamalar için uygun hale getirir.Termal stabilitesi onu yüksek sıcaklık uygulamaları için uygun kılar.
Ayrıca, SrTiO3'ün düşük sıcaklıklardaki metalik iletkenliği ve süper iletken bir durumu tetikleme olasılığı gibi çeşitli özellikleri, onu yoğun madde fiziği araştırmaları ve elektronik ve optoelektronik cihazların geliştirilmesi için yararlı kılmaktadır.
Özetle, SrTiO3 substratları, yüksek dielektrik sabiti, termal stabilitesi ve iyi kafes eşleştirme özellikleri nedeniyle ince film biriktirmede, epitaksiyel büyümede ve çok çeşitli elektronik ve optoelektronik uygulamalarda yaygın olarak kullanılan stronsiyum titanattan yapılmış kristalin substratlardır.
